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離子佈植摻雜物及鋅覆蓋層對鎳化矽熱穩定性影響之改善:Improve Thermal Stability Behavior of Nickel Silicide with Ion Implantation Species and Zn Capping Layer
施子琅 吳章鵬 陳聖文 吳騏廷 李文熙
奈米通訊
19:1 2012.03[民101.03]
頁23-28
TCI引用統計