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Vibration and Stability Analysis of a Silicon-wafer Slicing Blade with PD Control during Cutting:具有PD控制器之矽晶片切割圓盤的振動與穩定性分析
張英俊 賴光哲 陳啟元 Chang, Ying-chun; Lai, Guang-jer; Chen, Chi-yuan;
大同學報
25 1995.11[民84.11]
頁117-130+434
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