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CMOS-MEMS製程技術與電腦輔助微機電系統設計的整合研究:Study on the Fabrication of CMOS-MEMS and the Computer-Aided MEMS Design
鄭英周 李其源 張培仁 陳炳輝 Cheng, Ying-chou; Lee, Chi-yuan; Chang, Pei-zen; Chen, Ping-hei;
國立臺灣大學工程學刊
91 2004.06[民93.06]
頁21-32
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