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I-Line修飾光阻之熱分析及微影參數粹取之研究:
楊金成 柯富祥 盧永坤 黃慧玲 朱鐵吉
國科會國家毫微米元件實驗室通訊
5:4 1998.11[民87.11]
頁44-50
TCI引用統計