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單一步驟蝕刻PZT鐵電薄膜電容結構:
楊忠諺 黃俊凱 呂玉琪 陳三元
國科會國家毫微米元件實驗室通訊
9:1 2002.02[民91.02]
頁17-21
TCI引用統計