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高電流離子植入機之參數最佳化選擇--以U公司為例:High Current Ion Implanter of Parameters Base on the Best Choose--A Case Study of U Group
羅文志 戴貞德 Lo, Wen-chih; Day, Jen-der;
商業現代化學刊
7:2 2013.09[民102.09]
頁185-200
TCI引用統計