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A Study of Thin Film Characteristics of High-K Oxide (Gd(feaf)O(feb0)) on Silicon Wafer:Gd(feaf)O(feb0)氧化物之高介電薄膜特性研究
柯鴻禧 陳世濃 張鴻源 陳俊良 Ko, Hong-hsi; Chen, Shih-nung; Jang, Horng-yuan; Chen, Chun-liang;
南開學報
3:1 民94.03
頁57-63
TCI引用統計