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利用計算流體力學軟體模擬分析無塵室之流場與微塵粒子的關係以提高產品良率之研究:Use Computational Fluid Dynamics Software to Simulate and Analyze the Relationship between the Flow Field and Airborne Particle for Improving Yield of Products
魏慶華 黃忠仁 陳浩平 Wei, Ching-hua; Huang, Jong-zen; Chen, Hao-ping;
南臺科技大學學報
27 2002.12[民91.12]
頁61-69
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