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利用熱氧法改善矽晶圓之表面金字塔圓潤角結構:Using Thermal Oxidation to Fabricate Surface Texture with Low Sharpness on Single-Crystal Silicon
賴世偉 田偉辰 朱安國 Lai, Shih-wei; Tien, Wei-chen; Chu, Ann-kuo;
先進工程學刊
11:4 2016.10[民105.10]
頁301-307
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