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Development of New Diamond Slurry, Diamond Disk and Catalyst Etching Mechanical Polishing Method for Polishing Single-crystal Silicon Carbide:單晶碳化矽之拋光液、鑽石碟及催化蝕刻拋光製程之研究
蔡明義 蔡哲誠 Tsai, Ming-yi; Tsai, Che-cheng;
中國機械工程學刊
36:6 2015.12[民104.12]
頁499-509
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