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Large-stroke Micro/Nano-Meter Precision Positioning of a Combined Actuator Composed of a Linear Motor and an Impact Drive Mechanism:一組含線性馬達與脈衝驅動機構之長行程的微奈米級精密定位致動器
馮榮豐 謝劭謙 Fung, Rong-fong; Hsien, Shao-chien;
中國機械工程學刊
31:6 2010.12[民99.12]
頁493-501
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