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Nitrogen Effect on the Diamond Deposition Processing by 915-MHz Microwave Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Reactor:以915-MHz之微波電漿輔助化學氣相法探討添加氮氣對於成長鑽石的影響
蔡宏營 郭桂林 Tsai, Hung-yin; Kuo, Kei-lin;
中國機械工程學刊
28:2 2007.04[民96.04]
頁157-162
TCI引用統計