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Analysis of Structure Fabrication on Near Field Photolithography with Experimental Verification:近場光學微影結構加工模式與實驗驗證
楊慶彬 江新祿 黃仁清 陳健忠 Yang, Ching-been; Chiang, Hsiu-lu; Huang, Jen-ching; Chen, Chein-chung;
中國機械工程學刊
32:5 2011.10[民100.10]
頁371-379
TCI引用統計