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Precise CD Measurement of Micro Grating Iinewidth Using Multi-view AFM Stitching Method:運用多視角原子力顯微鏡影像縫合技術於精密微線寬關鍵尺寸量測
陳亮嘉 阮方泰 何柏青 Chen, Liang-chia; Nguyen, Van Thai; He, Bo-ching;
中國機械工程學刊
44:1 2023.02[民112.02]
頁23-35
TCI引用統計