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Development of a 2-axis Closed Loop Micro-/Nano- Positioning Stage Embedded with 2 Fiber Optical Interferometer Systems:二軸閉迴路微/奈米定位平臺整合二光纖干涉儀量測系統之研製
修芳仲 許學豐 陳朝榮 劉惠中 Shiou, Fang-jung; Hsu, Hsuen-feng; Chen, Chao-jung; Liou, Huay-chung;
中國機械工程學刊
29:6 2008.12[民97.12]
頁497-502
TCI引用統計