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Development of Microelectromechanical System Fabrication Emulator by Solid Modeling Technology:以幾何模擬發展微機電製程模擬器
陳國聲 鄭景仁 葉修銘 Chen, Kuo-shen; Cheng, Ching-jen; Yeh, Hsiu-ming;
中國機械工程學刊
23:6 2002.12[民91.12]
頁525-532
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