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Nanoindentation Behaviour of As-Deposited and Annealed SiO₂/GaAs Thin Films:退火在二氧化矽/砷化鎵薄膜奈米壓痕行為上之效應分析
李偉賢 朱威澤 Lee, Woei-shyan; Chu, Wilbert;
中國機械工程學刊
42:6 2021.12[民110.12]
頁539-550
TCI引用統計