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- 題 名:
化學機械研磨製程之有限元素建模:Finite Element Modeling for Chemical Mechanical Polishing Process
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
17 2003.06[民92.06]
- 頁 次:
頁273-284
- 題 名:
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
32 2012.12[民101.12]
- 頁 次:
頁73-92
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
18 2004.06[民93.06]
- 頁 次:
頁295-302
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
23 2009.06[民98.06]
- 頁 次:
頁93-100
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- 題 名:
建立化學機械研磨製程之接觸有限元素模式:A Contact Finite Element Model in Chemical Mechanical Polishing Process
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
20 民95.06
- 頁 次:
頁309-318
- 題 名:
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- 題 名:
化學機械研磨製程晶圓承載器最適表面形狀研究:Study on Optimal Carrier Morphology in Chemical Mechanical Polishing Process
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
21 2007.06[民96.06]
- 頁 次:
頁347-356
- 題 名: