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微電子純銅表面氧化層整合分析之研究:Electrochemical and Optical Analyses of the Surface Oxide Layer on Copper in Microelectronics
黃薇禎 宋振銘 Huang, Wei-chen; Song, Jenn-ming;
防蝕工程
32:3 2018.09[民107.09]
頁8-15
TCI引用統計