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用離子束濺鍍系統鍍製不同鋁摻雜量之氧化鋅鋁薄膜:Various Concentrations of Aluminum-doped ZnO Films Deposited by Ion Beam Sputtering
李俊逸 陳譽云 徐進成 Lee, Chun-yi; Chen, Yu-yun; Hsu, Jin-cherng;
真空科技
24:2 2011.06[民100.06]
頁50-55
TCI引用統計