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研磨液組成及機械變數對鋁化學-機械拋光製程中電化學性質影響之研究:Effects of Slurry Composition and Mechanical Parameter on the Electrochemical Behaviors of Aluminum during CMP Process
林義雄 陳瑞琴 蔡文達 Lin, Yi-hsiung; Chen, Jui-chin; Tsai, Wen-ta;
防蝕工程
16:4 2002.12[民91.12]
頁271-280
TCI引用統計