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蝕刻參數對砷化鎵之金屬輔助化學蝕刻形貌與機制的影響研究:The Influence of Etching Parameters on the Morphology and Mechanism of the Metal-assisted Chemical Etching of Gallium Arsenide
陳品仰 李昆達 Chen, Pin-yang; Li, Kun-dar;
International Journal of Science and Engineering
11:1 2021.04[民110.04]
頁29-40
TCI引用統計