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Rapid Thermal Processed Thin Films of Y[feaf]O[feb0]Grown by R. F. Magnetron Sputtering:快速熱處理對射頻磁控濺鍍法在矽基板上沈積之氧化釔薄膜之影響
貢中元 洪瑞華 武東星 余建文 Kung, C. Y.; Horng, R. H.; Wuu, D. S.; Yu, J. W.;
興大工程學報
7:2 1996.06[民85.06]
頁33-39
TCI引用統計