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離子束濺鍍法成長鋯與氧化鋯薄膜特性研究:Growth and Characterization of Zircon and Zirconia Thin Films Deposition Using Ion Beam Sputtering System
葉松瑋 胡自立 楊宗閩 Yeh, S. W.; Hu, T. L.; Yang, Z. M.;
黃埔學報
47 民93.10
頁181-193
TCI引用統計