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X光光電子譜儀與橢圓偏振儀分析非晶態氮氧化鈦薄膜鍵結與能隙變化之關係:Relationship between Energy Gap and Chemical Bonding in Amorphous Titanium Oxynitride Films Investigated by X-ray Photoelectron Spectroscope and Ellipsometer
林永鑫 黃文駿 涂俊瑋 王威禮 陳譽云 徐進成 Lin, Yung-hsin; Huang, Wen-jiun; Tu, Jiun-wei; Wang, Paul W.; Chen, Yu-yun; Hsu, Jin-cherng;
真空科技
24:2 2011.06[民100.06]
頁76-81
TCI引用統計