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Measurement Simulation of Nanoscale Semicircle Profile by Constant-Amplitude Tapping Mode Atomic Force Microscopy (TM-AFM) and Influence of Probe Shape on Scanning Profile:奈米級半圓形試片輪廓之定振幅輕敲式原子力顯微鏡模擬量測及探針型狀對掃描輪廓影響分析
林榮慶 黃俊傑 Lin, Zong-ching; Huang, Jun-jie;
中國機械工程學刊
32:3 2011.06[民100.06]
頁199-207
TCI引用統計