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A MEMS-based Benzene Gas Sensor with WO₃ Sensing Layer and Integrated Micro-hotplate:整合氧化鎢感測層與加熱裝置之微型苯氣體感測器
柯明村 江哲銘 李佳言 Ke, Ming-tsun; Chiang, Che-ming; Lee, Chia-yen;
先進工程學刊
4:2 2009.04[民98.04]
頁119-125
TCI引用統計