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High-Density Optical Disk Mastering Using Electron Beam Lithography with Modified LIGA Demolding Mechanism:電子束與LIGA脫模技術應用於高密度碟片刻模製作
沈聖智 鄭博仁 羅士哲 潘正堂 黃永茂 陳明發 Shen, Sheng-chih; Cheng, Po-jen; Lo, Shih-che; Pan, Cheng-tang; Hwang, Yeong-maw; Chen, Ming-fa;
中國機械工程學刊
27:1 民95.02
頁31-36
TCI引用統計