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三維原子級電子斷層顯微技術在半導體元件之應用:The Application of Three-dimensional Atomic Electron Tomography to Semiconductor Devices
彭裕庭 劉宇倫 陳健群 Peng, Yu-ting; Liu, Yu-lun; Chen, Chien-chun;
科儀新知
232 2022.09[民111.09]
頁48-58
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