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ZnO薄膜沉積之前驅物氣化與擴散模組技術:Technologies of Showerhead and Vaporizer in ZnO Chemical Vapor Deposition System
林士欽 黃智勇 張家豪 李侃峰 江銘通 梁沐旺 王慶鈞
機械工業
350 2012.05[民101.05]
頁107-116
TCI引用統計