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乾膜光阻生產製程中塗佈作業之ANN-SPC-EPC製程管制系統建立:Construction of an ANN-SPC-EPC Process Control System for Coating Operations in Dry Film Photoresist Production
林宏達 周奕圻 Lin, Hong-dar; Jou, Yi-chi;
朝陽學報
11 民95.09
頁25-58
TCI引用統計