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一噴灑頭式MOCVD反應器之流場及GaN薄膜成長模擬分析:Analysis of the Fluid Flow and GaN Growth in a Showerhead Type MOCVD Reactor
崔燕勇 葉保杰
機械工業
376 2014.07[民103.07]
頁113-122
TCI引用統計