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Properties and Chemical-Mechanical Polishing Characteristics of Low Dielectric Constant Polymer Films: PAE-2 and Flare 2.0:低介電常數高分子(PAE-2 及 Flare2.0)薄膜性質及其化學機械研磨特性
陳文章 顏誠廷 戴寶通 蔡明蒔 Chen, Wen-chang; Yen, Cheng Tyng; Dai, Bau-tong; Tsai, Ming-shih;
Journal of the Chinese Institute of Chemical Engineers
31:3 2000.05[民89.05]
頁253-260
TCI引用統計