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聲波元件壓電薄膜之鋁鈧靶材開發:Development of AlSc Sputtering Targets for Piezoelectric Films of Acoustic Wave Device
陳榮志 管琪芸 蔡欣翰 Chen, R. Z.; Kuan, C. Y.; Tsai, S. H.;
粉體及粉末冶金會刊
49:2 2024.05[民113.05]
頁113-122
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