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1
低介電常數旋塗式玻璃薄膜之化學機械研磨技術:
蔡明蒔
國科會國家毫微米元件實驗室通訊
5:1 1998.03[民87.03]
頁30-34
TCI引用統計
2
SOG:
莊達人
工業材料
112 1996.04[民85.04]
頁113-120