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微光機電系統致動器:Introduction of Optical MEMS Actuators
洪世運 劉醇鎧 李正國 黃瑞星 林敏雄 Hung, Shih-yun; Liu, Chun-kai; Lee, Cheng-kuo; Huang, Ruey-shing; Lin, Min-shyong;
科儀新知
24:4=132 2003.02[民92.02]
頁42-53
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