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晶圓製造廠自動化物料搬運與儲存系統之模擬分析:Simulation Analysis of Automated Material Handling and Storage Systems in a Semiconductor Wafer Fab
呂博裕 王福琨 Leu, Bor-yuh; Wang, Fu-kwun;
工業工程學刊
16:2 1999.03[民88.03]
頁183-194
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