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利用氣化氫氟酸製作低接觸阻值之複晶矽栓塞:
陳建亨 雷添福 趙天生 蘇天寶 黃俊寅 段定夫 陳希寬
國科會國家毫微米元件實驗室通訊
7:2 2000.05[民89.05]
頁29-30
TCI引用統計