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以一新穎結合數位影像相關法及聚焦離子束環芯鑽孔與有限元素修正法檢測微奈米尺度薄膜製程殘留應力的量測方法:
張毓中 古唯佑 陳暐杰 李孟杰
量測資訊
204 2022.03[民111.03]
頁56-66
TCI引用統計