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Generation Lifetime Improvement in MOS Capacitor by Fast Neutron Enhanced Intrinsic Gettering Technique:利用快中子照射內部去疵技術改善MOS-C元件之少數載子再結合生命期
溫武義 廖森茂 藍山明 邱建珽 Uen, Wu-yih; Liao, Sen-mao; Lana, Shan-ming; Chiou, Jing-ting;
中原學報
30:1 2002.03[民91.03]
頁93-97
TCI引用統計