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題 名:
多孔式噴灑頭對於CVD反應室內之流場影響研究:Effect of Showerhead on the Flow Field Distribution in CVD Reactor
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
363 2013.06[民102.06]
- 頁 次:
頁32-38
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題 名:
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題 名:
多孔式噴灑頭CVD腔體之流場可視化技術:Study of Showerhead CVD Reactor by Use of Flow Visualization Technology
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
375 2014.06[民103.06]
- 頁 次:
頁103-112
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題 名:
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
377 2014.08[民103.08]
- 頁 次:
頁144-157