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The Growth and Characterization of SiGeC Alloy by Ultra-High-Vacuumchemical Vapor Deposition:利用UHVCVD來製造之矽鍺碳層其成長與特性
李秋宗 劉寅昕 陳自強 余承曄 陳邦旭 曾揚岱 劉致為 Lee, C. C.; Liu, Y.H.; Chen, T.C.; Yu, Cheng-yeh; Chen, P. S.; Tseng, Y. T.; Liu, Chee Wee;
國立臺灣大學工程學刊
93 民94.02
頁3-10
TCI引用統計