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Effects of Retaining Ring on Contact Stress Uniformity in Chemical Mechanical Planarization:化學機械平坦化製程中扣環對接觸應力均勻度之影響
楊天祥 胡逸群 陳國聲 劉家良 王耀塵 Yang, Tian-shiang; Hu, Ian; Chen, Kuo-shen; Liu, Chia-liang; Wang, Yao-chen;
中國機械工程學刊
30:5 2009.10[民98.10]
頁381-392
TCI引用統計