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濕式蝕刻製程中晶體系統與異向性蝕刻速率對其表面形貌的影響:The Influence of Crystalline Structure and Anisotropic Etching Rate on Surface Morphology by Wet Chemical Etching
王建興 楊宗侑 李昆達 Wang, Jian-sing; Yang, Zong-you; Li, Kun-dar;
International Journal of Science and Engineering
10:1 2020.04[民109.04]
頁21-34
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