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Design and Fabrication of a Multi-degree-of-freedom Microactuator Using Symmetric Piezoelectric Pusher Element and Its Applications:
Shen, S. C.; Huang, J. C.; Tsia, P. C.; Huang, H. J.;
微系統暨奈米科技協會會刊
27 2012.06[民101.06]
頁38-48
TCI引用統計