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題 名:
原子層沉積之綜合概述:原子層沉積之原理及運用:An Overview of Atomic Layer Deposition: Principles and Applications of ALD
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
15:3=164 2009.03[民98.03]
- 頁 次:
頁106-119
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題 名: