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Reoxidation Thickness Nonuniformities Due to Thermally Induced Stress Effect and the Atomic Oxygen Distribution in RTP with N₂O:
Chang, Kow-ming; Lai, Chiung-hui; Lin, Bo-chun; Hsieh, Kuang-yeu; Yao, June-min; Chang, Sang-hua; Lai, Hui-lung; Lai, Yi-lung;
International Journal of Electrical Engineering
13:2 民95.05
頁161-167
TCI引用統計