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超薄介電層非接觸性特性分析:
Roy,P. K.; Chacon,C.; Ma,Y.; KizilyalliI.C.; Horner,G.S.; Verkuil,R.L.; Miller,T.G.;
電子月刊
6:3=56 2000.03[民89.03]
頁142-146
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