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在氟化銨中以光電化學法蝕刻n-Si(100)單晶表面製作微米溝槽:Preparation of Macro Trenches on Si(100) by Photo-electrochemical Etching in Ammonium Fluoride Solution
林景崎 陳韋旭 賴建銘 楊仁泓 鄭文達 蔡明蒔 Lin, J. C.; Chen, W. S.; Lai, C. M.; Young, J. H.; Jheng, W. D.; Tsai, M. S.;
防蝕工程
20:4 民95.12
頁353-361
TCI引用統計