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The High-Speed Measurement of a Partial Area Imaging System Applied to Photoresist Development Processing:
Lin, Chern-sheng; Lay, Yun-long; Chan, Shi-xiang; Ho, Chien-wa; Chiou, Yih-chih;
中國工程學刊
28:4 民94.07
頁721-726
TCI引用統計